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無(wú)氧光刻膠晶圓烘箱

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一.概述:
無(wú)氧烤箱晶圓封裝無(wú)氧箱,無(wú)氧化烘箱,在工作時(shí),工作室內(nèi)充滿了惰性氣體CO2,N2,防止材料在烘烤時(shí)被氧化。無(wú)氧化烘箱在工業(yè)中的用途:IC包裝,LCD,晶體管,傳感器,二極管,石英晶體振蕩器,混合集成電路板……


二.產(chǎn)品技術(shù)參數(shù)
1.名稱(chēng)及型號(hào):雙工作腔無(wú)氧烤箱  AO-2DSL FCNET(支持 ONET-240 網(wǎng)絡(luò)聯(lián)機(jī)功能)
2、主要技術(shù)指標(biāo):
2.1工作尺寸:W1000*D500*H610*2 mm
2.2電源:380V 3φ 50HZ 18KVA
2.3含氧量控制要<= 100PPM。
2.4溫度范圍: RT(室溫)+60~ +300℃;
2.5溫度均勻度:±1.5%;
2.6升溫速率:室溫~250℃,45分鐘(空箱測(cè)試)。(客戶工藝高溫度300℃)
2.7風(fēng)冷降溫:100 分鐘內(nèi)降溫可從250℃達(dá)到 70℃


3、箱體結(jié)構(gòu):
3.1烘箱由箱體部分、電器控制柜部分、電加熱及風(fēng)道系統(tǒng)部分組裝而成,結(jié)構(gòu)合理,外觀美觀大方;
3.2全周氬焊,耐高溫硅膠迫緊,SUS304#不銹鋼電熱產(chǎn)生器,防機(jī)臺(tái)本身產(chǎn)生微塵;
3.3箱體材料:外箱采用 SS41# 中碳鋼板經(jīng)磷酸皮膜鹽處理后兩層防光面涂裝烤漆,可防止微塵;
3.4內(nèi)膽材料:采用進(jìn)口SUS304#日制800番2mm厚之鏡面不銹鋼板,并經(jīng)堿性蘇打水清潔,去油污避免烘 烤時(shí)產(chǎn)生 PARTICLE;
3.5中桶材料:采用進(jìn)口SUS304#日制800番2mm厚之鏡面不銹鋼板,并經(jīng)堿性蘇打水清潔,去油污及氬焊 密封加工(防污染)。
3.6保溫材料:硅酸鋁棉;
3.7夾層降溫:夾層風(fēng)冷降溫


4、溫控系統(tǒng)
4.1控制器采用二合一PLC觸摸屏控制兩個(gè)腔體獨(dú)立運(yùn)行,隨時(shí)切換。
4.2溫度測(cè)量:采用特制鍇裝鉑電阻;
4.3氮?dú)饪刂葡到y(tǒng):有雙流量計(jì)的智能控制氮?dú)庀到y(tǒng)。
5、完善的安全保護(hù)措施:漏電斷路器//超溫保護(hù)//欠相保護(hù)//馬達(dá)過(guò)載電流保護(hù)//機(jī)臺(tái)異常蜂鳴器警示

無(wú)氧光刻膠晶圓烘箱

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